SuperView W1 光学3D表面轮廓仪

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SuperView W1 光学3D表面轮廓仪

名称深圳市中图仪器股份有限公司【公司网站】
所在地中国广东深圳南山区
联系人罗健
价格面议点此议价
采购量不限制
发布日期 2023-04-20 14:13 至长期有效

热线：18928463988

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SuperView W1 光学3D表面轮廓仪产品详情

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品牌:其他
类型:其他
型号: SuperView W1

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪是一kuan用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪的操作较为简便，操作人员将工件放置在载物台上，调整载物台使被检测区域移动到物镜下方，调整Z轴高度，直至软件测量窗口出现干涉条纹，调节载物台上水平倾斜旋钮使视场内出现1~2个干涉条纹，点击按钮进行测量，光学物镜开始对器件表面进行扫描，软件实时获取图像并在扫描结束后重建出3D图像，操作者可在软件的分析界面中对图像进行处理，获取器件表面的线、面粗糙度、轮廓等2D、3D数据。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其*的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪广泛应用于半导体工艺检测、超精密加工、纳米材料、光学加工、集成电路工艺检测、汽车零部件、机器人、MEMS器件检测、薄膜检测、航kong航天、*军gong、科研院所等行业及领域中。可测各类从光滑到粗糙的物体表面，从纳米到微米级别工件的轮廓、线粗糙度、面粗糙度，提供依据ISO/ASME/GBT国内外标准近百余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪技术指标：

光源		绿光LED
影像系统		1024×1024，（2048×2048可选）
干涉物镜		10×，（5×，20×，50×可选）
光学ZOOM		1×，（0.5×、0.75×可选）
物镜塔台		单孔
XY位移平台	尺寸	200×200mm（可定制）
	移动范围	25×25mm
	负载	10kg
	调节方式	手动
水平调整		±4°，手动
Z轴聚焦	行程	100mm
	调节方式	电动
Z向扫描范围		100µm
Z向分辨率		0.1nm
****da扫描速度		30µm/s
台阶测量		不确定度	重复性
		1%	0.2% 1σ

注：性能参数依据ISO 4287和ISO 25178在实验室环境下采用4.7µm台阶高标准块测shi。

光学规格表

物镜倍率			5×	10×	20×	50×
数值孔径			0.13	0.3	0.4	0.55
光学分辨率@550nm（µm）			2.1	0.92	0.69	0.5
焦深（µm）			16.2	3.04	1.71	0.9
工作距离（mm）			9.3	7.4	4.7	3.4
视场 H×V (mm)	影像系统 1024×1024	0.5×	1.92×1.92	0.96×0.96	0.48×0.48	0.192×0.192
		0.75×	1.28×1.28	0.64×0.64	0.32×0.32	0.128×0.128
		1×	0.96×0.96	0.48×0.48	0.24×0.24	0.096×0.096
	影像系统 2048×2048	0.5×	4.48×4.48	2.24×2.24	1.12×1.12	0.448×0.448
		0.75×	3.22×3.22	1.61×1.61	0.805×0.805	0.322×0.322
		1×	2.24×2.24	1.12×1.12	0.56×0.56	0.224×0.224

2．仪器尺寸（长×宽×高）：主机：590×600×790mm；

3．仪器主机重量：小于120Kg；

4．使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体

工作温度：15℃ ~ 30℃,温度梯度<1℃/15分钟

相对湿度：40-60%，无凝结。

以上内容为 SuperView W1 光学3D表面轮廓仪，本产品由深圳市中图仪器股份有限公司直销供应。

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